微小氣體流量計（半導體和集成電路工業、）

小熱式質量流量計--用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。

氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316不銹鋼包裝殼內。

1 量程范圍 （20,30,50,100,200,300,500）SCCM

（0~1,2,3,5,10） SLM

2 準確度 +1.5%F.S

3 線性 +0.5~1.5%F.S

4 重復精度 +0.2%F.S

5 響應時間 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec

6 工作壓差 0.1~0.5MPa

7 耐壓 3Mpa 6Mpa 10Mpa

8 工作環境溫度 0~70℃

9 數字量 RS485 MODBUS協議

10 模擬量 DC0~5V，4~20mA可選

11 供電 DC+15V/24V可選，流量計＜50mA，控制器＜200mA

12 電氣連接 DB15

13 漏率 1×10 -8SCCSHe

14 底座材質 316L不銹鋼

15 密封材質 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠

16 氣路街頭 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞

注意:

質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N?)標定.

質量流量的單位規定為:SCCM (標準毫升/分); SLM (標準升/分)

標準狀態規定為： 溫度-----273.15K (0℃);

氣壓-----101325Pa （760mm Hg）

F.S(FullScale); 滿量程值