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擴散硅、陶瓷、電容、單晶硅壓力傳感器各有哪些區別?

擴散硅、陶瓷、電容、單晶硅壓力傳感器各有哪些區別?

2025-01-03 16:26
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      壓力傳感器是最為常用的一種傳感器,其廣泛應用于各種工業自控環境,涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業。

      根據工作原理的不同,壓力傳感器可分為以下幾種:   

單晶硅壓力傳感器:

      高性能單晶硅壓力傳感器,采用電磁激勵和電磁拾振方式工作,輸出為頻率信號,抗干擾能力強,穩定性好,不需A/D轉換,既能測量絕壓,也能測量差壓。

電容式壓力傳感器:

      電容式變送器有一個可變電容的傳感組件。該傳感器是一個完全封閉的組件過程壓力、差壓通過隔離膜片和灌充液硅油傳到傳感膜片引起位移。傳感膜片和兩電容極板之間的電容差由電子部件轉換成(4-20)mA的兩線制輸出的電信號。

擴散硅壓力傳感器: 

      擴散硅壓力傳感器是外加壓力通過不銹鋼膜片、內部密封的硅油傳遞到敏感芯片上,敏感芯片不直接接觸被測介質。以其靈敏度輸出高,動態響應好,測量精度高,穩定性好,易于小型化,但易受溫度影響,對于大于1kpa的均可測量是中檔傳感器的首選。陶瓷是一種公認的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動的材料。   

陶瓷壓力傳感器:  

      陶瓷的熱穩定特性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達-40135℃,而且具有測量的高精度、高穩定性。電氣絕緣程度>2kV,輸出信號強,長期穩定性好。具有優良的線性精度、遲滯性和可靠性、性價比。原則上較高的量程也易于實現。這兩種傳感器都廣泛地應用于航天、航空、航海、石油化工、動力機械、生物醫學工程、氣象、地質、地震測量等各個領域。   

      另外,一般的壓力變送器(區別于差壓變送器)所用的傳感器常用的有:擴散硅傳感器,陶瓷壓阻傳感器,陶瓷電容傳感器,單晶硅傳感器等。

     這種傳感器只能測表壓或者絕壓,它們之間也是有各自的有缺點,在不同的場合使用的傳感器也是不同的,例如一般的小量程壓力變送器則需要用到陶瓷電容傳感器,穩定性和精度會比其他高一些;而一般的超大量程,由于受生產工藝所限,通常是采用陶瓷壓阻的比較多;對于擴散硅傳感器,一般充油擴散硅傳感器更適合做溫度補償等技術提升,并且在穩定性和過載能力方面也是比較出眾的。   

      在差壓傳感器中充硅油或者惰性氣體,一般都是電容式傳感器,當然其他技術的傳感器也是要填充惰性液或者惰性氣體的,它所其到的作用是把壓力均勻的作用在感壓膜片上的。


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